Phường Cầu Giấy được hình thành trên cơ sở nhập phần lớn diện tích tự nhiên và dân số của các phường: Dịch Vọng, Dịch Vọng Hậu (quận Cầu Giấy); một phần diện tích tự nhiên và dân số của các phường: Quan Hoa, Yên Hòa (quận Cầu Giấy); Mỹ Đình 1, Mỹ Đình 2 (quận Nam Từ Liêm).