Phường Xuân Phương được hình thành trên cơ sở nhập toàn bộ diện tích tự nhiên và dân số của phường: Phương Canh, Xuân Phương (quận Nam Từ Liêm); một phần diện tích tự nhiên và dân số của phường Tây Mỗ, Đại Mỗ (quận Nam Từ Liêm); Minh Khai, Phúc Diễn (quận Bắc Từ Liêm); và xã Vân Canh (huyện Hoài Đức).
Nhiều phụ huynh bày tỏ băn khoăn khi thời điểm sáp nhập cấp xã hoàn thành trước 30/6, có thể nhiều phường gộp làm một phường, việc tuyển sinh đầu cấp học mầm non, tiểu học sẽ thay đổi.